Детская образовательная литература2013Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техникиСветлана Аркадьевна Козубняк, Кирилл Геннадьевич Потловский, Евгений Александрович Скороходов
Детская образовательная литература2008Нанотехнологические процессы самоорганизации наноструктур и наносборки радиоэлектронных системКонстантин Васильевич Малышев, Евгений Александрович Скороходов, Василий Александрович Шалаев
