Детская образовательная литература
Нанотехнологии и микромеханика. Часть 6. Базовые технологические процессы микросистемной техники
Жанр — Детская образовательная литература; год издания — 2013; язык — Русский; формат — pdf.
О книге
Рассмотрены основные технологические процессы производства элементов микросистемной техники с точки зрения физических явлений. Обобщены результаты, полученные при выращивании монокристаллов, а также в процессах диффузии, имплантации, литографии и др. Для студентов МГТУ им. Н.Э. Баумана, изучающих курс «Микросистемная техника».
Темы: учебное пособие для студентов, нанотехнологии, конструирование оборудования, микроэлектроника, микромеханика
Продолжить выбор
Похожие книги
Проектирование автоматизированных станков и комплексов. Том 2
Алгоритмы коррекции навигационных систем
Проектирование орбитальных станций. Часть 1. Общие вопросы проектирования орбитальных станций
Технические средства моделирования (информационно-управляющая среда)
