Учебники и пособия для вузов
Физические основы вакуумной техники
Жанр — Учебники и пособия для вузов; год издания — 2018; издательство — Новосибирский государственный технический университет; язык — Русский; формат — pdf; ISBN — 9785778224247.
О книге
Рассмотрены физические основы работы наиболее распространенных типов вакуумных насосов, манометрических датчиков давления и масс-спектрометров, а также принципы построения откачных систем высокого и сверхвысокого вакуума. Для получения практических навыков работы с оборудованием предлагаются соответствующие варианты практических занятий. Пособие предназначено для студентов, обучающихся по направлению 200100 «Электроника и наноэлектроника». Оно может быть рекомендовано также для специалистов, занимающихся эксплуатацией вакуумного технологического оборудования.
Продолжить выбор
