Технические науки
Элионная технология в микро- и наноиндустрии
Жанр — Технические науки; год издания — 2008; язык — Русский; формат — pdf.
О книге
В учебном пособии рассматриваются закономерности изменения параметров тонкопленочных гетерокомпозиций материалов электронной техники при воздействии электронных, ионных потоков и низкотемпературной плазмы для микро- и наноразмерных устройств с улучшенными характеристиками. Цель данного пособия – формирование современных представлений и достижений в области микро- и наноиндустрии.
Продолжить выбор
Похожие книги
Элионная технология в микро- и наноиндустрии. Неразрушающие методы контроля процессов осаждения и травления наноразмерных пленочных гетерокомпозиций
Энерго-экологический анализ эффективности металлургических процессов
Applied Adhesive Bonding. A Practical Guide for Flawless Results
Friction at the Atomic Level. Atomistic Approaches in Tribology
