Технические науки
Процессы микро- и нанотехнологии. Ионно-плазменные процессы
Жанр — Технические науки; год издания — 2007; язык — Русский; формат — pdf.
О книге
В нем рассматриваются основы физики взаимодействия ускоренных низкоэнергетических ионов с твердым телом, практические возможности использования эффектов ионного воздействия для получения и травления микро- и наноразмерных пленочных гетерокомпозиций. Приводится методика расчета параметров различных технологических ионно-плазменных процессов обработки тонких пленок и покрытий. Дается методика определения экспериментальных параметров процессов осаждения и травления на реальных промышленных установках.
Продолжить выбор
Похожие книги
Процессы получения и свойства сверхтвердых материалов
Радиометрическая сортировка и сепарация твердых полезных ископаемых
Разработка стратегии улучшения экономического состояния предприятия вторичной металлургии драгоценных металлов
Разработка строительной части при проектировании цехов редкометальной промышленности с использованием системы автоматизированного выполнения курсовых и дипломных проектов
