
Технические науки
Основы радиационных технологий. Расчет режимов ионной имплантации и профиля распределения имплантированных атомов примеси на примере изготовления кремниевых солнечных элементов n+–p–p+(p+–n–n+)-типа
Жанр — Технические науки; год издания — 2007; язык — Русский; формат — pdf.




