Жанр — Педагогика; год издания — 2015; язык — Русский; формат — pdf.
О книге
В пособии излагаются теоретические основы технологических процессов роста полупроводниковых материалов и методы контроля в рамках курса «Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологий».
Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологийДмитрий Григорьевич Крутогин, Олег Игоревич Рабинович, Сергей Федорович Маренкин, Светлана Владимировна Подгорная