Технические науки
Материалы и элементы электронной техники. Расчет режимов термического окисления и диффузии при формировании легированных слоев
Жанр — Технические науки; год издания — 2007; язык — Русский; формат — pdf.
О книге
В практикуме рассматриваются принципы расчета режимов термического окисления, обеспечивающего заданную толщину маскирующей оксидной пленки, и режимов диффузии при формировании легированных слоев с заданными параметрами для кремниевых приборных структур. Излагается методика расчетов в программе Math Cad 2001.
Продолжить выбор
Похожие книги
Материалы и элементы электронной техники. Тонкопленочные многослойные структуры и солнечные элементы на основе гидрогенизированного аморфного и нанокристаллического кремния
Машины и агрегаты металлургического производства. Механическое оборудование для подготовки шихтовых материалов к плавке
Металлургические машины и оборудование. Сборник научных трудов студентов и аспирантов МИСиС
Металлургические методы переработки промышленных и бытовых отходов. Часть 1. Образование и проблемы переработки твердых бытовых отходов
