О книге
<iframe width="560" height="315" src="https://www.youtube.com/embed/6ODUFgVguak" frameborder="0" allowfullscreen></iframe>
В книге рассматриваются технологические процессы в производстве элементов и устройств радиоэлектронной аппаратуры (РЭА) – электронных проборов, полупроводниковых и гибридных микросхем, микроэлектромеханических систем, антенных устройств, функциональных и защитных покрытий и других, где в качестве основного инструмента используются ионно-плазменные потоки и пучки ускоренных ионов. Рассмотрено технологическое оборудование и оснастка, включая генерирование, ускорение и управление потоками ионов. Учебник предназначен для студентов вузов, обучающихся по специальностям «Проектирование и технология электронных устройств», «Проектирование и технология радиоэлектронных средств» и «Электронные приборы», может быть полезным для студентов других специальностей и специалистов в области радиотехники.
