Технические науки2011Методы литографии в наноинженерииВладимир Васильевич Макарчук, Илья Анатольевич Родионов, Юрий Борисович Цветков
Детская образовательная литература2009Физические основы микро- и нанотехнологийСергей Павлович Бычков, Валерий Павлович Михайлов, Юрий Васильевич Панфилов, Юрий Борисович Цветков