Технические науки2001Дифракционные методы изучения поверхностных слоев и приборных структурКирилл Дмитриевич Щербачев, Владимир Тимофеевич Бублик
Технические науки2016Дифракционные методы изучения материалов и приборных структур. Рентгеновская рефлектометрияМарина Игоревна Воронова, Кирилл Дмитриевич Щербачев, Владимир Тимофеевич Бублик