Учебники и пособия для вузов2026Технологии формирования изолирующих областей интегральных микросхем с использованием тонких диэлектрических пленокВ. Ю. Васильев
Учебники и пособия для вузов2022Технологии многоуровневой металлизации интегральных микросхемВ. Ю. Васильев
