Детская образовательная литература2021Теоретические основы получения наноструктурированных поверхностей. Методы получения и исследования тонких пленок и покрытийФилипп Владимирович Кирюханцев-Корнеев, Алина Дмитриевна Сытченко, Александр Николаевич Шевейко